| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kode# | 525-020P |
|---|---|
| Panggung Granit | (310*220) mm |
| Panggung Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Skala Linier X/Y | Resolusi: 0,5um |
| Kode# | 522-180H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-180J |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-280G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 500-030 |
|---|---|
| Lensa | Lensa Telesentrik Ganda 0.3X |
| Jarak Kerja | 110 mm |
| Lapangan Luas | Ukuran 30mm (28x24) |
| Akurasi pengukuran | ±2um |
| Kode# | 523-280 ribu |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (600*500) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1500*1200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kode# | 528-180 jam |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0.1mm |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,2+L/200 ((um) |