Kode# | 521-420J |
---|---|
Meja Kerja Marmer | (650*580) mm |
Meja Kerja Kaca | (540*440) mm |
Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
Kode# | 522-120G |
---|---|
Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |