| Kode# | 523-280 jam |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-180R |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (2600*1600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤4,0+L/200(um) |
| Kode# | 523-180Q |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1800*1200)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,5+L/200 ((um) |
| Kode# | 523-380J |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 527-120h |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 523-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,5+L/200(um) |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Kode# | 522-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 522-420G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |