Kode# | 521-420E |
---|---|
Meja Kerja Marmer | (270*350) mm |
Meja Kerja Kaca | (142*242)mm |
Perjalanan Sumbu X/Y | (200*100) mm |
Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
Kode# | 522-180H |
---|---|
Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |