Kode# | 521-320J |
---|---|
Meja Kerja Marmer | (650*580) mm |
Meja Kerja Kaca | (540*440) mm |
Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
Kode# | 523-280N |
---|---|
Perjalanan Sumbu X/Y | (1200*1000) mm |
Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
Akurasi Sumbu XY | ≤2,5+L/200(um) |