Kode# | 521-120G |
---|---|
Meja Kerja Marmer | (458*358) mm |
Meja Kerja Kaca | (356*248) mm |
Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
Kode# | 523-180Q |
---|---|
Perjalanan Sumbu X/Y | (1800*1200)mm |
Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
Akurasi Sumbu XY | ≤3,5+L/200 ((um) |