| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1000*800) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 525-180X |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*1600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 300MM |
| Skala Linier Sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Mode Panduan | Kereta panduan linier presisi |
| Kode# | 521-120G |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (458*358) mm |
| Meja Kerja Kaca | (356*248) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 521-320F |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (408*308) mm |
| Meja Kerja Kaca | (306*198) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (250*150) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 521-420E |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (270*350) mm |
| Meja Kerja Kaca | (142*242)mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (200*100) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 521-320J |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (650*580) mm |
| Meja Kerja Kaca | (540*440) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kode# | 524-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Kode# | 522-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 522-420G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |