| Kode# | 521-420E |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (270*350) mm |
| Meja Kerja Kaca | (142*242)mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (200*100) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 524-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |