| Kode# | 502-120 jam |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Dimensi (WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| Berat badan | 600kg |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Kode# | 520-020 |
|---|---|
| meja kerja | (245x180) mm |
| Meja Kerja Kaca | Ukuran (130x130) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (100*100) mm |
| Resolusi sumbu X/Y | Resolusi: 0,5um |
| Kode# | 525-120H |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (605*450) mm |
| Meja Kerja Kaca | (456*348) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan sumbu Z | 200 mm |
| Kode# | 525-320H |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (605*450) mm |
| Meja Kerja Kaca | (456*348) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan sumbu Z | 200 mm |
| Kode# | 525-020D |
|---|---|
| Meja Kerja Granit | (310*220) mm |
| Meja Kerja Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Perjalanan sumbu Z | 100mm |
| Kode# | 525-020D |
|---|---|
| Meja Kerja Granit | (310*220) mm |
| Meja Kerja Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Perjalanan sumbu Z | 100mm |
| Kode# | 500-080 |
|---|---|
| Lensa | Lensa Telesentrik Ganda 0,088X |
| Jarak Kerja | 120MM |
| Lapangan Luas | Ukuran 116mm (94x76) |
| Akurasi pengukuran | ±4um |
| Kode# | 523-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,5+L/200(um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |