| Kode# | 522-120H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 522-180H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-180J |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-280G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-280 ribu |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (600*500) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-480L |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (800*600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-280L |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (800*600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1500*1200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kode# | 500-080 |
|---|---|
| Lensa | Lensa Telesentrik Ganda 0,088X |
| Jarak Kerja | 120MM |
| Lapangan Luas | Ukuran 116mm (94x76) |
| Akurasi pengukuran | ±4um |