| Kode# | 522-180H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-180J |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-280G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-280 ribu |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (600*500) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-480L |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (800*600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-280L |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (800*600) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1500*1200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kode# | 525-020dp |
|---|---|
| Panggung granit | (310*220) mm |
| Panggung kaca | (179.5*129.5) mm |
| Perjalanan X/Y Axis | (150*100) mm |
| Skala linier | Resolusi: 0,5um |
| Kode# | 500-080 |
|---|---|
| Lensa | Lensa Telesentrik Ganda 0,088X |
| Jarak kerja | 120mm |
| Lapangan Luas | Ukuran 116mm (94x76) |
| Akurasi Pengukuran | ±4um |
| Kode# | 542-310 |
|---|---|
| Perjalanan Tahap Kerja | 355x125mm |
| Perjalanan X/Y-Axis | 200x120mm |
| Sumbu z | 110mm |
| Akurasi Pengukuran | ≤3+l/200um |