| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1500*1200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kode# | 524-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
| Kode# | 523-280N |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1200*1000) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,5+L/200(um) |
| Kode# | 524-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Kemungkinan diulang | 2um |
