| Kode# | 521-320 jam |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (608*470) mm |
| Meja Kerja Kaca | (456*348) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 525-020P |
|---|---|
| Panggung Granit | (310*220) mm |
| Panggung Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Skala Linier X/Y | Resolusi: 0,5um |