ST-5000G Mesin uji pelapisan celah presisi
ProdukSAYApengantar:
Mesin Pelapis Eksperimental Pelapisan Presisi ST-5000G adalah jenis baru mesin pelapis eksperimental dengan presisi tinggi, keandalan tinggi, dan stabilitas tinggi. Karakteristik peralatan tersebut adalah: dengan pompa perekatan presisi tinggi yang diproduksi sendiri dan dikembangkan serta cetakan celah presisi tinggi, obat cair dilapisi secara merata pada substrat kaku untuk menyiapkan lapisan tipis area luas dengan keseragaman ketebalan film yang tinggi.
Parameter Perangkat:
Substrat yang berlaku:
(1) | Ukuran substrat | 500mm*500mm |
(2) | Kerataan substrat | <10u |
(3) | Keterbasahan substrat | <15° |
(4) | Suhu substrat | 23±2℃ |
Cairan yang Berlaku:
(1) | jenis | Isopropanol, DMF, DMSO dan pelarut organik lainnya atau pelarut campuran lainnya |
(2) | viskositas | 1~70CPS |
(3) | Konten padat | 7%~50% |
Kinerja proses peralatan:
(1) | Metode pembentukan film | Lapisan celah |
(2) | viskositas | 300nm~10um (Film kering) |
(3) | Homogenitas pembentuk film | 5% ≤ dalam film, 5% ≤ antar film |
Lapisan mati:
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | Bahan | SUS630 | |
2 | Lebar berlapis | 450mm | |
3 | Kerataan/kelurusan | ≤3um | |
4 | Kekasaran lumen | Ra≤0.025 | |
5 | Celah celah | Jenis paking, keseragaman ketebalan paking ≤±2um | |
6 | Rentang penyesuaian celah | ≤±10um | |
7 | Kecuali untuk rentang tepi | ≤10mm | |
8 | Rakitan anti-tabrakan kepala pelapis | Letaknya 20um lebih rendah dari bibir, yang secara efektif mencegah bibir bertabrakan | |
9 | Koreksi kepala pelapisan | Ini secara otomatis dikoreksi oleh sensor perpindahan linier presisi tinggi | |
10 | Desain saluran gelembung | Ruang cetakannya tingkat tinggi dan memiliki lubang vesikel tingkat tinggi |
Pompa Pelapisan:
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | Bahan bodi pompa | SUS316L | |
2 | Bahan cincin penyegel | Segel tahan korosi | |
3 | Volume pompa | 5ml | |
4 | Kontrol berkendara | Motor servo, sekrup bola | |
5 | Resolusi kontrol ludah | 0,01ul/dtk | |
6 | Waktu respons | 0,01 detik | |
7 | Kecepatan meludah | 0~2000ul/dtk | |
8 | Akselerasi ludah maksimum | 2000ul/dtk² | |
9 | Konfigurasi fungsional |
1)Pompa pasokan cairan secara otomatis mengurangi tekanan setelah pengisian ulang; 2) Fungsi penundaan pelepasan cairan; 3) Fungsi penyedotan terminal; 4) Fungsi rehidrasi otomatis; 5) Penyesuaian pelapisan multi-tahap; |
|
Nomor | Proyek | Parameter teknis |
1 | Jumlah sumbu Z | 2个 |
2 | Resolusi sumbu Z | 0,1um |
3 | Kontrol penggerak sumbu Z | Motor servo, sekrup kelas gerinda, rel pemandu |
4 | Pengulangan sumbu Z | ≤5um |
5 | Rentang kecepatan sumbu Z | 0~50 mm/dtk |
6 | Tipe penggerak sumbu Y | Berbasis platform |
7 | Kontrol penggerak sumbu Y | Motor servo, sekrup kelas gerinda, rel pemandu |
8 | Rentang kecepatan sumbu Y | 0~200 mm/dtk |
9 | Akurasi permukaan gerak sumbu Y | Lebih baik dari ±5um |
10 | Pengulangan sumbu Y | ≤5um |
11 | Konfigurasi fungsional |
1) Akselerasi dan deselerasi pelapisan dapat diatur dan disesuaikan; 2) Celah Lapisan dapat disesuaikan ; 3) Kesenjangan retraksi ujung yang dapat disesuaikan; |
Platform pelapisan:
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | Bahan | granit kelas 000 | |
2 | Menyesuaikan dengan ukuran media | 500*500mm | |
3 | Kerataan permukaan | Levelness≤±5um | |
4 | Penempatan substrat | Adsorpsi vakum platform | |
5 | Penjajaran substrat | petunjuk | |
6 | Pilih dan letakkan tablet | petunjuk |
Sistem pasokan cairan:
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | Bahan tabung | PFA | |
2 | Tangki pasokan cairan | Bahan kupas, volume 100ml | |
3 | Metode pasokan cairan | Tangki diberi tekanan | |
4 | Cuci tangki | Terbuat dari baja tahan karat |
Unit pembersih pra-pelapisan:
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | Metode pra-pelapisan | Platform pra-pelapisan | |
2 | Pembersihan bibir mati | petunjuk | |
3 | Rendam dan tiriskan tangki | Ini digunakan ketika peralatan dalam keadaan idle, pipa bersih, dan limbah dibuang |
Nomor |
Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | layar sentuh | Platform pra-pelapisan | |
2 | Fungsi perekaman log | Proses pelapisan setiap substrat dapat dilihat, termasuk parameter kecepatan dan posisi setiap sumbu pelapis pada setiap titik waktu dalam proses pelapisan. | |
3 | Izin operasional |
Tiga jenis izin operasi untuk masuk. Tindakan perangkat secara manual, semi-otomatis, dan otomatis semuanya dapat dioperasikan pada antarmuka |
Nomor | Proyek | Parameter teknis | Komentar |
1 | menyusun | Paduan, Pelat Pelubang, FFU, Strip Penyegel | |
2 | merancang | Transparan dapat mengamati kondisi lapisan secara real time. Tekanan mikro positif pembersih FFU memastikan bahwa lingkungan eksternal lebih baik daripada kelas 1.000 di lingkungan eksternal | |
3 | knalpot | Penutup luar dilengkapi dengan lubang pembuangan organik, dan ukuran antarmukanya adalah DN80 |
Konfigurasikan itu daftar periksa:
Konfigurasi utama:
Nomor | Nama | Merek | Lokasi merek |
1 | PLC | Siemens | Jerman |
2 | Motor servo | panasonic | Cina |
3 | Konverter frekuensi | INVT | Cina |
4 | HMI | Nada suara Kunlun | Jepang |
5 | Bantalan | NSK/FAG | Jepang/Jerman |
6 | Pemutus sirkuit miniatur | Schneider/CHINT | Prancis/Cina |
7 | Relai | Schneider | Perancis |
8 | Saklar udara | Schneider/CHINT | Prancis/Cina |
Konfigurasi Keamanan Perangkat:
1 | Saklar darurat | Penutup bersih, antarmuka pengoperasian, kotak kontrol listrik, dan posisi lainnya dilengkapi dengan sakelar EMO, dan beberapa titik dapat dihentikan dengan cepat jika terjadi keadaan darurat |
2 | Interlock keselamatan | Sumber bahaya mesin menggunakan perangkat pengunci perangkat keras yang aman dari kegagalan, yang menghentikan kerja unit yang dapat menyebabkan cedera saat penutup pelindung peralatan dibuka. |
3 | Alarm suara dan cahaya | Peralatan dipasang dengan perangkat alarm suara dan visual pada posisi yang mencolok atau ditentukan pelanggan |
4 | Penutup bersih | Peralatan diisolasi dengan penutup luar, dan penutup debu dijauhkan dari lingkungan luar sekaligus mencegah masuknya personel selama pengoperasian |
5 | Ventilasi dan pembuangan | Lapisan gas organik yang mudah menguap dirancang dengan sambungan pembuangan |
6 | lainnya | Desain peralatan penggunaan air, listrik, dan bahan kimia memenuhi standar keselamatan nasional |