| Kode# | 521-320J |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (650*580) mm |
| Meja Kerja Kaca | (540*440) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 522-180H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200 mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |