| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1000*800) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 523-180M |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (1500*1200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | Resolusi: 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤3,0+L/200(um) |
| Kode# | 521-320J |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (650*580) mm |
| Meja Kerja Kaca | (540*440) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 500-080 |
|---|---|
| Lensa | Lensa Telesentrik Ganda 0,088X |
| Jarak kerja | 120mm |
| Lapangan Luas | Ukuran 116mm (94x76) |
| Akurasi Pengukuran | ±4um |
| Kode# | 542-310 |
|---|---|
| Perjalanan Tahap Kerja | 355x125mm |
| Perjalanan X/Y-Axis | 200x120mm |
| Sumbu z | 110mm |
| Akurasi Pengukuran | ≤3+l/200um |
| Kode# | 542-310 |
|---|---|
| Perjalanan Tahap Kerja | 355x125mm |
| Perjalanan X/Y-Axis | 200x120mm |
| Sumbu z | 110mm |
| Akurasi Pengukuran | ≤3+l/200um |
| Kode# | 542-310 |
|---|---|
| Perjalanan Tahap Kerja | 355x125mm |
| Perjalanan X/Y-Axis | 200x120mm |
| Sumbu z | 110mm |
| Akurasi Pengukuran | ≤3+l/200um |
| Kode# | 522-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 521-320 jam |
|---|---|
| Meja Kerja Marmer | (608*470) mm |
| Meja Kerja Kaca | (456*348) mm |
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | Jarak tempuh efektif 200mm |
| Kode# | 522-420G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |