| Kode# | 522-120G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 522-180H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-280G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |
| Kode# | 522-420G |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (300*200) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,5um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤2,0+L/200(um) |
| Kode# | 524-220H |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (400*300)mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala Linier 3 Sumbu X/Y/Z (mm) | Resolusi: 0,5um |
| Pengulangan | 2um |
| Kode# | 522-180J |
|---|---|
| Perjalanan Sumbu X/Y | (500*400) mm |
| Perjalanan Sumbu Z | 200mm |
| Skala linier sumbu X/Y/Z | 0,1um |
| Akurasi Sumbu XY | ≤1,8+L/200(um) |