| Kode# | 525-020P |
|---|---|
| Panggung Granit | (310*220) mm |
| Panggung Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Skala Linier X/Y | Resolusi: 0,5um |
| Kode# | 525-020P |
|---|---|
| Panggung Granit | (310*220) mm |
| Panggung Kaca | (179,5*129,5) mm |
| Perjalanan sumbu X/Y | (150*100) mm |
| Skala Linier X/Y | Resolusi: 0,5um |
| Kode# | 512-350 |
|---|---|
| Ukuran Tahap Kerja | Ukuran 355x126mm |
| Tahap Kerja Perjalanan | 200x100mm |
| Fokus | 90mm |
| Keakuratan | ≤3+L/200(um) |
