| Kode# | 512-400 |
|---|---|
| Ukuran Tahap Kerja | Ukuran 455x126mm |
| Perjalanan Tahap Kerja | 300x150mm |
| Fokus | 120mm |
| Ketepatan | ≤3+L/200(um) |
| Kode# | 512-400 |
|---|---|
| Ukuran Tahap Kerja | Ukuran 455x126mm |
| Perjalanan Tahap Kerja | 300x150mm |
| Fokus | 120mm |
| Ketepatan | ≤3+L/200(um) |
| Kode# | 512-350 |
|---|---|
| Ukuran Tahap Kerja | Ukuran 355x126mm |
| Perjalanan Tahap Kerja | 200x100mm |
| Fokus | 90mm |
| Ketepatan | ≤3+L/200(um) |